半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，乙烯标准，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，乙烯生产，可分为电子级，乙烯价格，lsi（---集成电路）级，vlsi（---规模集成电路)级和ulsi(---规模集成电路）级。
近几年来，智研数据研究中心随着我国---规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是---。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四---碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯已成功打开。
电子气体主要包括：、、乙、---、硒---、、四---碳、化三氢、、---化硼、三氟---、三---氮、、六、六---钨、六---硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.
其中六---硫、电子级、、磷烷使用较多。
空气分离是工业上常见的气体制备方法，通过空分设备把空气中的各组份气体分离，生产氧气、氮气和气，还有稀有气体气、气、气、氙气等。
稀有气体的生产涉及到空气、、合成氨尾气及核---裂变气等多种气源。虽然涉及面较广，制取的工艺流程又多种多样，但就其制取的基本原理来说，都是利用各种稀有气体及其伴随杂质的物理、化学特性的差别。
目前在工业上具体应用的物理方法，例如分凝、、精馏、洗涤(物理吸收）、吸附、薄膜渗透和扩散单元操作
稀有气体提取设备的调平、配管和试压等应按本章相应各节的有关规定执行。
气
气是激光器中气(ar)和气(kr)的缓冲气体，用于半导体的制造。目前---是气的主要生产国，cryoin engineering ltd 其前身“rare gases”公司是稀有气体市场的，他们所生产的气（纯度达99.999%）约占供应量的65%。这家公司是在1990年由一批低温技术 领域的科学家发起成立的。
作为工业气体行业早在国内举办的一展——国际气体技术、设备与应用展览会（英文简称ig china），历经十七载发展，在规模和度上已经成长为规模大、买家层次高的工业气体展。为快速提升品牌影响力，天门乙烯，获得市场---，今年各大特种气体生产商竞相报名参展，目前的电子光源工业、半导体制造业、特种玻璃行业的产能增长拉动了对特种气体的需求量，海外特种气体的生产商纷纷把市场开发 的重点转移到---市场。正因如此才吸引了来自---的cryoin engineering ltd连续五届参展，并大面积展出其新技术和产品，足见其对进国市场的决心和规划。
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