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用于核技数。0.95%异---与---的混合物和1.3%的---与---的混合物都被人们用来作盖格计数管用气体。0.4%异---与---的混合气和10%的---与的混合物都用作比例计数器用气体。

用于电子元件的制造。含微量掺杂物化三氢，或等的气体。例如：氢气、---气、气或氮气等气体，用来制造硅半导体。高度净化的氨的混合物用来作渗氮用。，无论是纯的还是在混合物中都可用于硅的沉积。和上述混合气之一相似的混合气体、若化三氢和的含量高，通常用来制造稼半导体。

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